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2012/3/3 下午 10:52:04 ULVAC Cu chamber stick
小許
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會員等級: 個人會員
文章篇數: 1 [ 歷史文章 ]
註冊時間: 2012/3/3

想請問大家有人有ULVAC run PVD process Cu chamber 黏片(stick)的經驗嗎???製程為91/92 Cu sputter

目前我遇到這困擾,Ta run完之後再到Cu chamber run完後在chamber 裡就很容易有黏片或彈片的現象發生,導致很容易破片,希望有專家可以幫我解一下

 
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