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  半導體產業 > 設備機台
半導體產業 > 設備機台
2008/8/22 下午 10:07:30 半導體廠洗淨製程會排出大量廢氣,廢水,或廢液,怎麼處理呢?
偏光客
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文章篇數: 49 [ 歷史文章 ]
註冊時間: 2006/12/28
這些影響主要造成,例如破壞臭氧層效應之CFC氟氯碳,造成溫室氣體效應..等氣候之變遷 大量生產,卻造成環境破壞,怎麼作好處理呢?這也是社會責任吧! 有沒有環保專家,可以提出預防或防治方法呢?
 
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【本主題共有 1 篇文章回覆】
2008/8/23 下午 09:01:31 Re:半導體廠洗淨製程會排出大量廢氣,廢水,或廢液,怎麼處理呢?
超級仲介客
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文章篇數: 85 [ 歷史文章 ]
註冊時間: 2011/8/22
我想主要是利用除污設備來加以去除或是減輕污染: 1.通常利用Local scrubber 1濕式 2乾式 3燃燒方式 4熱分解 5電漿分解 來去除製程尾氣 2.廢水就進入污水處理廠處理達到園區接管標準再行排出 3.廢液就看能不能回收再利用了
 
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